低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外假電壓達到氣體的放電電壓的時候，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子的溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，是污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。采用脈沖高壓頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對有害氣體分子進行氧化還原反應，將廢氣準中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使有害廢氣經多級凈化后最終達標排放。新穎的結構設計將低溫等離子體的發生裝置和催化氧化裝置有機地結合在同一凈化設備內，最大限度地發揮了復合凈化地效能，使之滿足占地小、重量輕，能耗少，效率高地設計要求。

    低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。

        設備示意圖：

        適用范圍：

噴漆車間、油墨印刷、噴涂車間、化工、醫藥、橡膠、食品、印染、釀造等生產過程中產生有毒有害廢氣。